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東成イービー東北株式会社
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検査
ヘリウムリークデテクターを使ったリークテスト例

真空吹き付け法

試験体内をヘリウムリークデテクターにて真空排気して、分析管に接続します。試験体の外側と内側では差圧が1kg/cm2ありますので、外部からヘリウムガスをブローブによって吹き付けるとリークがあれば試験体内にヘリウムガスが導入されます。最も一般的なリークテストです。

≪特徴≫
・リークヶ所の特定が出来る。
・個々のリークの定量が出来る。
・真空容器、ガス配管等

真空フード法

排気系に関しては真空吹き付け法と変わりませんが、ブローブにてヘリウムガスを吹き付ける代わりに試験体全体をビニールのようなものでフードをし、その中にヘリウムガスを充満させます。リークヶ所全てからヘリウムガスが試験体内部に導入されるので、検査ライン等では見落としを防げるため有効です。但し、ヘリウムガスを多量に使うため、ランニングコストがかかってしまいます。実際には、ヘリウムガスの濃度を薄める等の工夫が必要です。

≪特徴≫
・試験体の全リーク量の定量が出来る。
(リークヶ所の特定は出来ない)
・リークの見落としが無い。

スニファー法

試験体内部をヘリウムガスによって加圧します。リークがあればそこからヘリウムガスが漏れます。そのヘリウムガスをスニーファーガンにて吸引して、ヘリウムリークデテクター内部に導入し検出を行う方法。ハロゲンリークテスターなどからの置き換えに最適ですが、その測定原理より検出感度は低くなります。溶接ヶ所等、ある程度リークヶ所が特定できる試験体には、有効なテストといえるでしょう。

≪特徴≫
・リークヶ所の特定が出来る。
・定量は他のテストと比較すると難しい

加圧真空法(ボンビング法)

ヘリウムガスにて加圧した試験体をヘリウムリークデテクターに接続した真空チャンバー内に入れます。リークがあれば、真空チャンバー内にヘリウムガスが漏れてヘリウムリークデテクターに導入され検出されます。IC等の密閉部品のリークテストの際はその部品を加圧したヘリウムタンクに入れ、リークのある部品内にヘリウムガスを封入した後、真空チャンバーに入れリークテストを行うボンビング法が有効です。

≪特徴≫
・試験体の全リーク量が定量出来る。
(自動化が容易)

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